工作站
用于高效制造光学器件的立式干涉仪工作站
ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位,实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台,即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件,并实现曲率半径测量。
VTS 与一系列干涉仪主机兼容,您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 它的占地面积小,可选配带光幕运动联锁的安全罩,该安全罩符合 CE 机器安全要求。


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ZYGO 干涉仪工作站在立式系统上扩展了标准干涉仪主机的功能,在紧凑的结构内集成了工作台和被动隔振功能。 通过 ZYGO 的 Mx 软件,电动平台可以实现精确的曲率半径和可编程定位,为当今的精密光学制造应用创造了一个高效灵活的计量工作站。
主要特点
- 上视式或下视式立式工作站
- 与大多数标准 ZYGO 干涉仪主机兼容
- 支持 4 英寸和 6 英寸的口径尺寸
VTS & MetroCell
- 电机运动与 Mx 完全集成,实现了包括曲率半径在内的自动化运动
- 集成被动隔振