工作站

用于高效制造光学器件的立式干涉仪工作站

Verifire™ MST 激光干涉仪工作站ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式干涉仪工作站。  垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位,实现快速取放测量。  集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台,即使在生产环境中也能达到最高性能。  1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件,并实现曲率半径测量。

VTS 与一系列干涉仪主机兼容,您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。  它的占地面积小,可选配带光幕运动联锁的安全罩,该安全罩符合 CE 机器安全要求。


MetroCell 激光干涉仪MetroCell 是一款功能强大的垂直向下“下视”式干涉仪工作站,具有 5 轴电动和可编程的零件对准工作台,包括Z方向 800 mm 的行程以及集成的被动隔振系统。  MetroCell 在 Z 方向上有一个 2 轴 DMI,是目前最精确的球面曲率半径测量平台,同时能够测量不确定度 < 0.001% of radius value.

立式工作站套件立式工作站套件为垂直方向的干涉仪提供了更大的灵活性,没有累赘的配件,性价比高。  有关可用配置和选项的更多信息,请查看《激光干涉仪配件指南》。
  • 更多信息
  • 宣传册和
    规格表
  • 应用
    指南
  • 使用手册
  • 技术论文
  • 视频

ZYGO 干涉仪工作站在立式系统上扩展了标准干涉仪主机的功能,在紧凑的结构内集成了工作台和被动隔振功能。  通过 ZYGO 的 Mx 软件,电动平台可以实现精确的曲率半径和可编程定位,为当今的精密光学制造应用创造了一个高效灵活的计量工作站。

主要特点

  • 上视式或下视式立式工作站
  • 与大多数标准 ZYGO 干涉仪主机兼容
  • 支持 4 英寸和 6 英寸的口径尺寸

VTS & MetroCell

  • 电机运动与 Mx 完全集成,实现了包括曲率半径在内的自动化运动
  • 集成被动隔振

X
继续使用本网站即表示您同意我们的隐私和 Cookie 政策
确定