工作站
用于高效制造光学器件的立式干涉仪工作站
ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位，实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件，并实现曲率半径测量。
VTS 与一系列干涉仪主机兼容，您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 它的占地面积小，可选配带光幕运动联锁的安全罩，该安全罩符合 CE 机器安全要求。
MetroCell 是一款功能强大的垂直向下“下视”式干涉仪工作站，具有 5 轴电动和可编程的零件对准工作台，包括Z方向 800 mm 的行程以及集成的被动隔振系统。 MetroCell 在 Z 方向上有一个 2 轴 DMI，是目前最精确的球面曲率半径测量平台，同时能够测量不确定度 < 0.001% of radius value.
立式工作站套件为垂直方向的干涉仪提供了更大的灵活性，没有累赘的配件，性价比高。 有关可用配置和选项的更多信息，请查看《激光干涉仪配件指南》。
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ZYGO 干涉仪工作站在立式系统上扩展了标准干涉仪主机的功能，在紧凑的结构内集成了工作台和被动隔振功能。 通过 ZYGO 的 Mx 软件，电动平台可以实现精确的曲率半径和可编程定位，为当今的精密光学制造应用创造了一个高效灵活的计量工作站。
主要特点
- 上视式或下视式立式工作站
- 与大多数标准 ZYGO 干涉仪主机兼容
- 支持 4 英寸和 6 英寸的口径尺寸
VTS & MetroCell
- 电机运动与 Mx 完全集成，实现了包括曲率半径在内的自动化运动
- 集成被动隔振
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