光学系统

光学系统是消费者每天使用的许多产品的一部分,包括从移动设备中的小型相机镜头组件,到用于提供及时通信、天气和监控更新的卫星中的望远镜等。  每一个光学系统都由多个光学元件组成,这些元件当被适当地组装成一个组件时,可以满足特定的性能水平。尽管尺寸和应用不同,但每个组件的计量方法却非常相似,ZYGO 的激光干涉仪可以用来表征工作波长下的关键参数。

镜头组件

镜头组件从光刻物镜到手机相机,镜头组件的用途广泛,但无论其最终用途如何,所有组件都需要经过测试,以确保它们符合性能规格。透射波前误差用于确认镜头元件的组装是否正确,以及是否能按预期运行。

望远镜

望远镜光学组件望远镜通常由一个大的主镜和一个较小的副镜组成,它们具有非球面。这些镜片通常具有抛物面和双曲面面形,必须满足极其严格的表面面形规格。在如此苛刻的要求下,测量望远镜的大主镜是一个挑战。从历史上看,要安装这些具有干涉测量所需稳定性的镜子是很困难的。环境振动会严重影响测量结果,如果不能可靠地测量,就很难制造出高质量的光学器件。ZYGO 的 QPSI™ 技术消除了常见振动源带来的问题,可提供可靠的数据。

系统对准

光学组件需要精确对准其镜头元件。干涉测量法可以用来验证是否已经实现了正确的对准,但动态干涉测量法可以提供实时的系统对准信息。DynaFiz® 干涉仪的独特功能和 LivePhase™ 采集技术可以捕捉和显示实时波前数据,使光学系统的测试和对准变得异常简单。

 

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