Nexview™ 650: 大范围非接触式表面检测和计量
大幅面检测和计量
The Nexview™ 650计量系统是一种检测工具,可对注塑模具、PCB、玻璃面板进行精确的自动测量,测量范围可达 650 x 650 mm。它提供各种表面特征的2D和3D测量,具有亚纳米的垂直精度和亚微米的横向精度。
强大的性能
相干扫描干涉仪(CSI)是Nexview™ 650系统的核心测量技术。
这种非接触技术提供了高精度和高价值的表面计量优势,包括。
- 测量几乎所有类型的表面,从粗糙到超光滑,包括薄膜、陡坡和大台阶。
- 亚纳米级的测量精度与现场放大率无关
- 量具的性能 - 对于最苛刻的生产应用来说,具有特殊的精度和可重复性
- SureScan™振动耐受技术--几乎在任何环境下都能稳定运行
- Mx™软件能够与其他ZYGO轮廓仪无缝交换数据,包括ZeGage™ Pro、NewView™ 9000 和 Nexview™ NX2。
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最大限度地提高投资回报率
Nexview™ LS650 的设计和制造确保了系统在未来几年内都能提供巨大的价值。 Nexview™ LS650 的计量区域可容纳最大 650 x 650 mm 的横向尺寸和 负载> 100 kg 的样品,垂直范围为 150 mm,并有全封闭或半封闭系统选项,为三维光学轮廓仪精密测量大尺寸样品提供了最大的灵活性。
例如。该系统可容纳:
- 当今任何一种标准尺寸的 PCB 基板
- 为柔性片材等定制的样品架,它可部署在高负载的 Y 工作台上,而不必担心其重量问题
- 重型大注塑板,得益于精确的非接触式检测,潜在的精密表面损伤的风险被降到了最低
我们可以设计或提供定制的卡盘和样品架,使系统适用于较小的面板,甚至是被切割的基板,以最大限度地提高应用的灵活性。
该工作站系统集成的自动化测试软件可以对每个面板上的多个特征点按照指定的方向和顺序进行自动计量,减少了生产时间,加深了操作员对工艺的认识。
面形和粗糙度
Mx™ Software Films Analysis
Measuring Sub-Angstrom Surface Texture
Measuring Dynamic MEMS Devices
Identifying and Controlling Vibration
PSD Analysis
Vision Software Suite
ABS Geometry and MetroPro® Calculations
Getting the Most from the Advanced Texture Application
Filtering on the NewView™
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Measuring with an Optical Diverter on a NewView
Measuring Honed Surfaces with a NewView
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