用于平台控制的精密加工玻璃和陶瓷结构

在不断突破半导体性能和精度极限的竞争中，平台控制结构能够以极低的误差将晶圆在正确的时间输送至正确的位置。这些组件是光刻和检测平台控制定位系统的关键基础，在这些系统中，亚纳米级的精度并非可有可无，而是必不可少的。

Zygo™ 动态平台控制专业技术

•     单片式（集成镜面和夹紧底座）镜块

•     掩模台和晶圆台结构

•     晶圆夹具组件

•     用于平台定位的线性参考镜

•     其他专用组件 - 计量框架、Z 轴镜和编码器板

50 多年来，Zygo 一直为半导体行业提供最精密、最轻便的平台定位光学组件。每个组件都至关重要，它们能够在极端加速度、大温度范围和真空环境下保持尺寸稳定性，并且可以根据特定应用进行定制。这些结构的完整性直接影响套刻精度、产量和良率，使其成为半导体制造不可或缺的一部分。

每一款成功的半导体设备的核心都源于对尺寸精度、材料科学和可重复性能的不懈追求。正因如此，全球领先的半导体设备制造商 (OEM) 才会信任 Zygo，并将最关键、最严苛的精密结构需求委托给我们。

Zygo 的独特之处在于我们能够将制造流程从原型开发扩展到全面量产。我们深厚的工程知识以及数十年来在各种光学材料和涂层方面的制造经验，使 Zygo 成为您应对最具挑战性的成本和性能要求的理想合作伙伴。

低热膨胀系数 (CTE) 玻璃陶瓷

•     Zerodur®

•     ULE®

•     ClearCeramZ™

陶瓷

•     堇青石

•     碳化硅

•     氧化铝

Zygo 始终以客户需求为核心，无论是按图加工还是按性能指标设计，我们都能提供全面支持。我们的工程团队在可制造性设计方面为客户提供专业建议，并在材料方案权衡中提供指导，确保一次性就把事情做好。

Zygo 在平台控制组件制造方面同样具备独特优势，能够实现最大尺寸达1.25米、同时保持纳米级制造精度的高端精密结构件加工能力。

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