曲率半径

ZYGO 激光干涉仪是用于测量和表征光学元件和系统的强大而精确的仪器。  它们最常见的应用包括曲率半径的测量。曲率半径是球面光学表面的一个基本参数，在制造过程中需要进行质量控制。

干涉仪通常是光学制造商的首选解决方案，因为它们具有关键属性和优势，包括：

• 非接触式三维测量
• 精确、高质量的数据
• 快速的零件设置和测量
• 与短半径和长半径表面兼容

在球面曲率半径的测量中，通常使用相位测量干涉仪来确定待测光学器件的最佳拟合球面（共焦）和曲率中心（猫眼）处的零位置。一个线性导轨被用来在这些位置之间运动，一个或多个位移传感器被用来记录猫眼和共焦位置之间的距离，即曲率半径。

ZYGO 的一站式曲率半径测量解决方案集成了行业领先的干涉仪、参考附件、光机械子系统和计量软件。  我们提供从手动到自动解决方案的多种配置，它们通常包含以下一个或多个组件：

• 相移激光菲索干涉仪，有垂直（向下看）或水平（卧式）配置
• 标准或更高精度透射球面镜
• 装备有编码器或测距干涉仪（DMI）的导轨定位系统，可实现最高精度
• 手动或电动五轴支架，用于固定和对准被测表面
• 被动隔振台或工作站

配置选项

ZYGO 为曲率半径测量提供了多个产品选项，包括水平和垂直配置、手动或自动操作。

Verifire™ – 有几个配置选项可供选择。详情请参阅《激光干涉仪配件指南》（PDF）。 

Verifire VTS/工作站 – ZYGO 独立一站式干涉仪工作站可在方便的垂直方向上提供精确的曲率半径测量，具有集成的被动隔振功能，占地面积小，非常适合生产环境。