非球面和自由曲面计量

非球面和自由曲面光学器件的应用越来越多,它们通常被用于提高成像性能和减少光学元件的数量。这些复杂光学器件的设计及其精密制造方法已成为先进光学系统商业化的推动因素,这些光学系统被用于各种不同的领域,如 LED 照明、激光束整形、消费类电子设备、成像传感器、望远镜、头戴式显示器、照相机和光刻步进镜头等。

与通常具有球形表面的传统曲面光学元器件不同,非球面和自由曲面通常具有复杂、高长宽比、倾斜大的不对称光学表面。自由曲面的光学设计,包含了球面、非球面和环形面,向设计、测量和制造商都提出了很大的挑战。
对于这些类型的复杂表面,精密测量在制造过程中起着关键作用,可以提供必要的质量控制和反馈。  ZYGO 激光干涉仪和三维光学轮廓仪通过表征和量化面形误差、波纹度、缺陷和表面粗糙度等关键表面参数,可以实现在制造过程中对质量和过程进行监控。

与光学表面的接触式测量方法相比,ZYGO 干涉仪有几个关键优势,可以实现更有效的质量控制和产量优化:

  • 非接触式方法 – 防止损坏高质量的成品表面
  • 整个区域的三维测量 – 与单个(二维)轮廓相比,可以提供更好的工艺数据和表面特征。 

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