服务

在精密光学领域,ZYGO 制造世界一流的平面、非球面和球面以及精密加工结构。

我们的精密光学团队拥有 20 多名杰出的工程师。他们的项目经验包括为修复哈勃太空望远镜提供非球面光学器件以及为当今最苛刻的光刻系统开发亚纳米级的精密 EUV 光学器件等。无论您是需要我们为您制定一个工作计划,制造一个原型系统,还是为提高性能重新设计某个系统,ZYGO 都已经准备好迎接您最苛刻的光学挑战。

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非球面和自由曲面

自由曲面光学器件
  • 尺寸达 500 mm
  • 材料:ZERODUR®、ULE®、玻璃、陶瓷、Si、CaF2
  • 精度达 λ/5000 RMS @ 633 nm
  • 离轴镜无需制造母镜
  • 技术:
    • 计算机控制光学表面处理
    • 离子束加工
    • 精密光学和 CMM 计量

计算机控制光学表面处理

计算机控制光学表面处理

  • 非球面和精密球面、平面、圆柱面
  • 可实现 1nm RMS 表面面形和 0.2nm RMS 表面粗糙度(玻璃)
  • 可配置,适用于玻璃、CaF2、ZERODUR®、ULE®、SiC、Si、其他材料和各种零件几何形状
  • 可扩展,适用于 1.5 米以上的光学器件
  • 采用专有的计算机控制光学表面处理(CCOS)技术

超精加工/超抛

在需要减少光通过光学器件表面时所发生散射的应用中,通常需要对表面进行超级精加工。ZYGO 的超精加工(也称为超抛)工艺可以在宽功率谱密度(PSD)带内将熔融石英、蓝宝石、YAG 等材料加工成极其光滑的表面。我们独特的工艺能够在 10 nm 到 1 mm 的空间周期内生产出表面粗糙度为 < 1埃(< 0.1 nm)的表面。 < 1 Angstrom (< 0.1 nm), over spatial periods ranging from 10 nm to 1 mm. >

离子束加工(IBF)

这项专有技术采用真空中的氩离子流对非球面、球面和平面光学表面进行局部“抛光”。光学计量数据与 CCOS 软件相结合,对表面误差进行局部校正。

IBF 具有显著的优势:

超级精加工工艺的功率谱密度
  • 实现表面面形小于 0.25 nm RMS(λ/2500 @ 633 nm)
  • 对边缘边界条件不敏感
  • 可在易碎和/或容易变形的表面上作业,如超轻基板(无透印)
  • 可用于传统抛光工具无法接近的表面几何形状
  • 适用于多种材料,包括 ZERODUR®、ULE®、玻璃、陶瓷、Si、CaF2 等
  • 不会划伤表面

精密玻璃加工

  • 玻璃和陶瓷材料的 5 轴超声波CNC数控加工;比传统数控加工速度快 3-5 倍
  • 3 轴和 4 轴常规数控玻璃加工
  • 机加工后进行氢氟酸蚀刻
  • 典型的公差为 5 µm;酸蚀刻后关键特征的公差为 2 µm
  • 尺寸达 750 mm