总厚度变化(TTV)

为测量目的而安装的薄玻璃盘我们每天使用的产品以及开发中的产品离不开晶圆、显示屏玻璃、磁盘驱动器、标准具和波导等精密平行光学器件。  这些类型的光学元件的厚度变化,被称为总厚度变化或 TTV,在精确鉴定和控制光学元件的性能方面发挥着至关重要的作用。  TTV 定义了平行窗片或同心球面光学器件厚度的最大物理变化,可以用光学方法测量。  光学测量可以在高横向采样率和极小的垂直分辨率下进行大面积测量。  

Verifire MST 非常适合用于对需要精确控制厚度变化的部件进行 TTV 测量,它可以同时采集每个表面的数据,确保表面到表面的信息在厚度测量中不会出现差错。  其他光学测量方法需要对每个表面进行多次测量,导致厚度变化出现测量误差。

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