面形和平面度

加工表面可以有许多形貌和尺寸。对于面形特征对功能至关重要的表面,ZYGO 激光干涉仪三维光学轮廓仪凭借非接触表面数据的亚纳米级可重复性而脱颖而出。它们将形貌和平面度的行业标准纳入 Mx™ 分析软件中,为表面检测提供了一站式测量工具。下面是针对表面形貌和平面度计量应用的解决方案。

面形轮廓

面形测量

面形计量可以概括为表面与基本形貌的绝对或相对测量。ZYGO 不仅可以提供标准产品,对一般应用中的球面和圆柱面等进行快速测量,还可以提供对专业应用中的非球面或薄玻璃等复杂面形轮廓进行测量的产品。

ZYGO 在面形计量方面的应用范围同样广泛,我们的工具也很灵活。例如,我们可以测量斜面上的半径、棱镜的角度或表面之间的角度、曲率半径等。笛卡尔和旋转对称拟合函数,再加上给定表面上的数百万个数据点,确保了我们形貌计量的可靠性。

平面度

平面度测量

ZYGO 产品可以不同的方式进行平面度测量。高质量的透射平面镜(高达 λ/50)使 ZYGO 激光干涉仪可以测量太空望远镜的平面,乃至地面钢制表面。Mx™ 软件通过掠入射的测量方式,扩大了超大(大于 4 至 6 英寸)矩形表面的平整度计量应用范围。

带电动工作台的光学轮廓仪通过拼接和基于图案的移动克服了小视场测量方面的困难,可以探索并呈现表面的平整度结果。同样,我们的显微镜物镜的长工作距离范围允许我们测量凹腔中的平座和密封件。

凭借众多的解决方案和广泛的应用范围,ZYGO 因其在表面形貌和平面度测量领域处于领先地位而深感自豪。了解 ZYGO 如何在满足表面规格的同时超越您的期望。  

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