Qualifire™

再接再厉......… Zygo 全新 QualifireTM 激光干涉仪

50 多年来,移相干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。激光干涉仪可以快速地、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从科学研究到广泛的工业应用,激光干涉仪都能为质量保证和后期生产分析提供了高水平的数据可追溯性。 激光干涉仪已经成为加工制造中不可或缺的一部分。

Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案,代表了激光干涉仪的一次飞跃。



移相干涉测量新方法

菲索设计是许多现代系统中常见的光学计量方法,它使用一个固定的同轴相干点光源来照亮干涉腔。 在大多数情况下,这种设计都非常有效。 当移相和固定照明仍是黄金标准时, Zygo 一直在积极探索、寻求进步,并通过新的飞点模块(Flying Spot Module)探索了动态照明的优势。

Qualifire 激光干涉仪具有许多具有创造力的、新颖的功能。

  • 飞点:新的环纹抑制技术
  • 平面腔自动对焦
  • 稳定变焦
  • 智能附件  

Qualifire--功能强大,设计精简

Qualifire 可提供 4 英寸孔径以及同类产品中较小的 6 英寸孔径。某些 Qualifire 型号的重量不到 50 磅(23 千克),这使得该仪器更易于搬运,尤其是在测试元件无法被搬到仪器前的情况下。

另一个优势是内置移相器 (PMR),这消除了移动设备时对 PMR 内部 PZT 组件造成损坏的可能性。其他改进还包括易于抓握的手柄、易于操作的开关按钮。

此外,光学支脚是密封的,提供了额外的保护,从而避免了灰尘随着时间的推移而积聚、增加系统中的伪影。 这种设计也使维修变得更加容易,即使更换激光器,也不会干扰任何光学组件。

值得信赖的 Zygo Verifire 系列的方方面面都经过重新设计,充分考虑了用户体验和对计量的信心,为您带来全新的 Qualifire 产品系列。

 

  • 更多信息
  • 宣传册和
    规格表
  • 应用
    指南
  • 使用手册
  • 技术论文
  • 视频

新的主要功能:

  • 环纹抑制功能 – 安装飞点模块的 Qualifire 系统具有其他降噪系统所不具备的可信度。 通过消除腔体中相干空间噪点和恼人的相干牛眼纹,飞点模块可为高精度测量提供高信噪比。 配备飞点模块的 Qualifire 系统集成了 Zygo 专利的RoF(Ring of Fire)技术和环纹抑制功能 (CARS) 技术的精华,形成了一个崭新的降噪解决方案。

  • 平面腔自动对焦 – 市场上分辨率高的仪器,都必须实现对被测表面的精确对焦。飞点模块允许采用基于相位的自动对焦方法。这意味着可以在完美的镜面上设置非常精确的焦点,而无需借助手动或基于强度的焦点调整所需的小工具,比如锋利的纸片边缘、靶标、遮罩等。概括地说,无需操作员干预,即可实现精确对焦。

  • 稳定变焦 – 这种新颖的变焦方法提供了稳定的光学对准,从 1 倍到 3 倍变焦,焦点和图像中心都不会发生偏移。由于光学系统在所有变焦情况下都受到衍射限制,因此稳定的变焦使得仪器传递函数(ITF)也得到极大改善,从而更容易量化中高频率特征。 当系统放大倍率改变时,图像焦点和中心不会发生偏移,因此在所有变焦情况下都能保证系统误差去除,而不损失保真度。

  • 智能附件 – 使用 Zygo 智能附件可实现智能设置功能。智能设置可根据安装的附件自动设置仪器的横向分辨率,对于智能球面参考镜TS,还可自动设置工件的曲率半径。并且,装载的出厂校准系统误差图会自动拟合,并从测量数据中减去系统误差,从而以更短的设置时间实现优秀的计量能力。
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Laser Interferometers
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Qualifire 1.2
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Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
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Finite Conjugate Lens Testing
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Verifire™ MST 633 nm
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Verifire™ 633 nm MST Plus, HD MST, HDX MST
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Verifire™ MST 1550 nm
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干涉图解读和评估
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激光干涉仪配件指南
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激光干涉仪配件指南
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激光干涉仪配件指南
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激光干涉仪配件指南
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激光干涉仪快速设置指南
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Mx™ 参考指南
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
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101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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A review of selected topics in interferometric optical metrology
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Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
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Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
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Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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Advances in optical metrology
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Applications of optical coherence in interferometric metrology
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