Verifire™ XL

大口径立式干涉仪

大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站,可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。

这款完全集成的系统易于使用,其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位,而无需定制夹具。

占地面积小,内置隔振系统,并配有控制器显示器支架,只占用很小的车间地板空间。

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Verifire XL 干涉仪系统测量轻量级光学器件

独立的大口径工作站,用于测量直径达 12 英寸(300 mm)的平面光学表面面形,如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。

主要特点

  • 12 英寸(300 mm)口径,下视式立式设计,便于零件处理和对准
  • 一站式的独立系统,包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对准台和 1/15 波 PVr 透射平面镜(TF)
  • 紧凑的尺寸,最大限度地减少了对宝贵地面空间的占用
  • 集成的隔振和 QPSI™ 技术允许在生产环境中进行可靠的测量
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Laser Interferometers
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Laser Interferometers
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Verifire™ XL
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Laser Interferometer Accessory Guide
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Interactive Transmission Sphere Selector
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Interferogram Interpretation and Evaluation Guide
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Measurement of Aspheric Surfaces
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Determining Asphere Measurability
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Grazing Incidence Testing
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Interferogram Scale Factor
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Silver Overcoat Spray
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Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
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Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
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Finite Conjugate Lens Testing
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Silver Overcoat Spray
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Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
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Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
DocumentAN-0018
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Finite Conjugate Lens Testing
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Testing Cylindrical Optics
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MetroPro® Cylinder Tools
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Verifire™ MST 633 nm
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Verifire™ 633 nm MST Plus, HD MST, HDX MST
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Verifire™ MST 1550 nm
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干涉图解读和评估
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Verifire™ MST 633 nm
DocumentOMP-0515E
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DocumentOMP-0628A
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Verifire™ MST 1550 nm
DocumentOMP-0481A
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干涉图解读和评估
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
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101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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A review of selected topics in interferometric optical metrology
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Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
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Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
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Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
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101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
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Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
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Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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Advances in optical metrology
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Applications of optical coherence in interferometric metrology
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