Verifire™ XL

大口径立式干涉仪

大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站,可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。

这款完全集成的系统易于使用,其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位,而无需定制夹具。

占地面积小,内置隔振系统,并配有控制器显示器支架,只占用很小的车间地板空间。

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Verifire XL 干涉仪系统测量轻量级光学器件

独立的大口径工作站,用于测量直径达 12 英寸(300 mm)的平面光学表面面形,如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。

主要特点

  • 12 英寸(300 mm)口径,下视式立式设计,便于零件处理和对准
  • 一站式的独立系统,包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对准台和 1/15 波 PVr 透射平面镜(TF)
  • 紧凑的尺寸,最大限度地减少了对宝贵地面空间的占用
  • 集成的隔振和 QPSI™ 技术允许在生产环境中进行可靠的测量

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