计算机生成的全息图 (CGH)

计算机生成的全息图,是一种神奇的波前“转换器”,可以将干涉仪的标准测试波前,转化成为非球面测试波前,从而让普通激光干涉仪,能用于各类非球面面形测量

Computer Generated Hologram

金刚石车削和小工具确定性抛光的进展,极大地提高了光学制造能力,几乎可以生产任何表面形状。设计师们利用这些能力,越来越多地将非球面光学器件设计到成像、传感和激光系统中,以提高性能,减少光学系统的尺寸和重量。

然而,生产高质量的非球面光学器件所需要的不仅仅是抛光设备,还需要计量学来指导抛光和表面材料的去除,使之趋向于与设计紧密匹配的理想表面图形。

CGH(计算机生成全息图)计算机生成的全息图,是一种神奇的波前“转换器”,可以将干涉仪的标准测试波前,转化成为非球面测试波前,从而让普通激光干涉仪,能用于各类非球面面形测量。

Zygo的Verifire VTSVerifire™非球面产品非常适合CGH应用的生产级非球面和自由形态光学。
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Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。

主要特点

  • 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 TTV 和楔角
  • 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
  • 广泛的横向分辨率,包括像素限制的光学设计,可提供最佳的 ITF
    • 1.2k x 1.2k(包括分立变焦,可实现高达 3 倍的光学变焦(适用于进口干涉仪))
    • 2.3k x 2.3k
    • 3.4k x 3.4k
  • 工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
  • ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术,可在振动较常见的环境中实现可靠的测量,该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
  • Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置,可消除靶心并降低相干噪声

 

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干涉图解读和评估
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激光干涉仪配件指南
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
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101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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A review of selected topics in interferometric optical metrology
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Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
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Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
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Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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Advances in optical metrology
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Applications of optical coherence in interferometric metrology
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