大口径系统

更大的口径,适用于大尺寸光学元器件的计量

24 英寸大口径干涉仪系统
24 英寸大口径干涉仪系统

ZYGO 的水平轴扩束器可以将 4 英寸干涉仪的原生口径尺寸增加到 12 英寸、18 英寸、24 英寸甚至 32 英寸,实现了对大尺寸光学元件和光学系统进行高精度的干涉测量。

卧式大口径系统提供了独特的能力,可以保持两个独立的计量通道;一个是原生的 4 英寸干涉仪口径,另一个是扩展到 32 英寸的光束,将两个干涉仪合二为一。  当配置适当的配件时,大口径系统可用于测量表面面形轮廓和透射波前质量。

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32 英寸大口径干涉仪系统
32 英寸大口径干涉仪系统

ZYGO 扩束器已在全球范围内部署,适用于在高要求的应用中对大尺寸光学器件进行精确的计量。  我们在扩束器的开发和关键部件(如超精密参考平面)的内部生产方面拥有数十年的经验,可以确保您的应用需求得到满足,并确保您在未来得到很好的支持。

大口径系统组件可以与干涉仪主机分开购买。请联系您当地的 ZYGO 代表,协助您配置满足您的计量需求的系统。

主要特点

  • 更大的口径尺寸 12 英寸、18 英寸、24 英寸和 32 英寸
  • 双通道 4 英寸和扩展腿,增加了灵活性,大、小口径均可使用
  • 可实现高分辨率,每个扩束器都能保持干涉仪系统的 ITF,最高可达 3.4k x 3.4k
  • 支持 QPSI 抗振采集
  • 工作波长为 633 nm 到 1.55 µm
  • 每个口径尺寸都有一系列的光学和机械配件可供选择,包括高达 λ/25 PVr 的参考光学元器件

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