大口径系统
更大的口径,适用于大尺寸光学元器件的计量
![24 英寸大口径干涉仪系统](/-/media/project/ameteksxa/zygo/ametekzygo/products/laser-interferometers/large-aperture-systems/24-inch_large_aperture_interferometer_system_lg.jpg?dmc=1&revision=9d8c7e5b-4cc7-4032-9287-0fb4be477863&h=267&w=400&hash=44E51D8142BAA15D5ED056E434573BA5)
24 英寸大口径干涉仪系统
ZYGO 的水平轴扩束器可以将 4 英寸干涉仪的原生口径尺寸增加到 12 英寸、18 英寸、24 英寸甚至 32 英寸,实现了对大尺寸光学元件和光学系统进行高精度的干涉测量。
卧式大口径系统提供了独特的能力,可以保持两个独立的计量通道;一个是原生的 4 英寸干涉仪口径,另一个是扩展到 32 英寸的光束,将两个干涉仪合二为一。 当配置适当的配件时,大口径系统可用于测量表面面形轮廓和透射波前质量。
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32 英寸大口径干涉仪系统
ZYGO 扩束器已在全球范围内部署,适用于在高要求的应用中对大尺寸光学器件进行精确的计量。 我们在扩束器的开发和关键部件(如超精密参考平面)的内部生产方面拥有数十年的经验,可以确保您的应用需求得到满足,并确保您在未来得到很好的支持。
大口径系统组件可以与干涉仪主机分开购买。请联系您当地的 ZYGO 代表,协助您配置满足您的计量需求的系统。
主要特点
- 更大的口径尺寸 12 英寸、18 英寸、24 英寸和 32 英寸
- 双通道 4 英寸和扩展腿,增加了灵活性,大、小口径均可使用
- 可实现高分辨率,每个扩束器都能保持干涉仪系统的 ITF,最高可达 3.4k x 3.4k
- 支持 QPSI 抗振采集
- 工作波长为 633 nm 到 1.55 µm
- 每个口径尺寸都有一系列的光学和机械配件可供选择,包括高达 λ/25 PVr 的参考光学元器件
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Measurement of Aspheric Surfaces
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Determining Asphere Measurability
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Grazing Incidence Testing
![img1](/-/media/project/ameteksxa/zygo/ametekzygo/thumbnail-images/app-note-thumbnails/interferometers/an-0015-tn.png?revision=98099967-e3b4-4896-aecd-4a4792832921)
Interferogram Scale Factor
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Silver Overcoat Spray
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Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
![img1](/-/media/project/ameteksxa/zygo/ametekzygo/thumbnail-images/app-note-thumbnails/interferometers/an-0018-tn.png?revision=056c98eb-082e-49bb-a883-9f8e96e1c807)
Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
![img1](/-/media/project/ameteksxa/zygo/ametekzygo/thumbnail-images/app-note-thumbnails/interferometers/an-0019-tn.png?revision=9988b739-d6d1-451d-9743-a81b3f007eac)
Finite Conjugate Lens Testing
标题
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
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101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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A review of selected topics in interferometric optical metrology
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Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
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Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
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Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
![img1](/-/media/project/ameteksxa/zygo/ametekzygo/thumbnail-images/tech-paper-thumbnails/tech-paper-generic-tn.png?la=zh-cn&revision=d775c727-1b39-44b2-8a53-3a3d58ff131d)
Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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