薄玻璃

创新技术可以同时对薄型光学器件的正面和背面进行形状测量。 

测量薄型平行平面在对越来越小的消费产品和半导体设备需求的推动下,制造商需要薄型平面光学器件才能满足一系列应用需求。

这就要求材料和光学器件制造商保证玻璃的平面度,无材料变形,因为材料变形会导致畸变,并影响最终使用功能。

测量薄型平面平行光学器件的表面在历史上一直是个难题,因为来自前后表面的多次反射会返回到干涉仪。

多次重叠的条纹图案这就导致了复杂的重叠干涉条纹图案,使得传统的相移干涉测量(PSI)技术很难甚至根本不可能提供可靠的测量结果。

为了克服 PSI 测量薄型平面平行光学元件的局限性,一些技术已经被开发出来,例如在后表面镀膜以减少或消除二次反射。在背面涂上黑漆、用深色的记号笔覆盖或涂抹凡士林需要时间,给计量过程增加了不必要的步骤,并且在涂抹或去除涂层时有损坏或使薄型元件变形的风险。

薄玻璃光学元件的测量ZYGO 提供了一个更先进的解决方案,即傅立叶变换相移干涉测量法(FTPSI)。它可以方便地表征薄型平行玻璃的前表面和后表面、光学和物理厚度变化以及材料的均匀性。通过 FTPSI,即使是厚度小于一毫米的光学元件,它也可以在一次测量中区分前后表面,并对两者的质量进行表征。

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