Verifire Asphere+

高性能、灵活和精确的非球面计量学

非球面光学器件在成像、传感和激光系统的设计和实施方面有很大的优势,这些行业包括国防和航空航天、半导体曝光和检查系统以及医疗成像系统。

非球面光学器件在成像、传感和激光系统的设计和实施方面有很大的优势,这些行业包括国防和航空航天、半导体曝光和检查系统以及医疗成像系统。

Verifire Asphere+ (VFA+)利用Fizeau干涉仪的优势,为轴对称非球面提供独特的精确、高分辨率、快速和全孔径计量组合。


Verifire Asphere+
360° View

VFA+提供了一个灵活的计量平台,只需改变透射球体就能测量一系列轴对称非球体。VFA+配备了一个可选的二级平台,支持计算机生成全息图(CGH),将非球面形状的能力扩展到非对称自由曲面和离轴非球面光学。

新产品! 注重提高用户体验,您可以轻松设置新的测量,浏览测量数据和结果,并诊断生产问题。Mx™软件能够实现高效的研发和原型设计阶段,并通过简单的一键设置、对准和测量功能改善生产应用。

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Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。

主要特点

  • 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 TTV 和楔角
  • 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
  • 广泛的横向分辨率,包括像素限制的光学设计,可提供最佳的 ITF
    • 1.2k x 1.2k(包括分立变焦,可实现高达 3 倍的光学变焦(适用于进口干涉仪))
    • 2.3k x 2.3k
    • 3.4k x 3.4k
  • 工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
  • ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术,可在振动较常见的环境中实现可靠的测量,该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
  • Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置,可消除靶心并降低相干噪声

 

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Laser Interferometers
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Laser Interferometers
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Qualifire™
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Verifire Asphere+ Specs
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DynaFiz®
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Verifire™ HD
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Verifire™ HDX
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Verifire™ MST Plus
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MetroCell™
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Verifire™ HDX
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Verifire™ IR 3390
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Verifire™ MST 633 nm
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Verifire™ 633 nm MST Plus, HD MST, HDX MST
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Verifire™ MST 1550 nm
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干涉图解读和评估
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激光干涉仪配件指南
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激光干涉仪配件指南
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
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101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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A review of selected topics in interferometric optical metrology
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Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
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Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
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Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
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Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
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Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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Advances in optical metrology
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Applications of optical coherence in interferometric metrology
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