光刻运动台

ZMI 运动台位置测量系统凭借 30 多年的经验,ZYGO 的纳米位置传感产品已成为最值得信赖的产品之一,可连续运行,性能卓越。ZYGO 是位移传感器领域的市场领袖,为 OEM 提供关于闭环伺服控制的反馈。如今,半导体和平板制造以及生产过程控制工具都依靠 ZYGO 传感器来提供大批量制造环境所需的精度和可靠性。

我们的 ZMI™ 位移位置传感器用于测量这些系统中的标线/掩模和晶片台的相对运动,精度达到纳米级。我们的模块化组件可进行配置,为您的特定应用提供所有必要的自由度,让您成功实现纳米级的运动控制。单个 ZMI 激光头能够在 2 到 22 个测量轴之间进行测量,可以实现所有轴的完全同步测量。

作为您在运动控制方面的合作伙伴,ZYGO 将支持您不断改进系统,并满足您的下一代需求。 

X
继续使用本网站即表示您同意我们的隐私和 Cookie 政策
确定