测量板卡

ZMI™ 系列 – 位移测量干涉仪

ZMI位移 测量板

ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。

ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳,提供了两个测量轴。

ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率,适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中,支持扩展到多达 64 个测量轴。

我们荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差,从而达到最高的测量精度。

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型号: 501A 2400 4004 4104(C)
轴/板的数量: 2 1 或 2 4
板卡类型: 外壳 6U VME 6U VME64x
最小光功率: 8.0 µW 1.9 µW 1.0 µW 0.07 µW
位置分辨率: 1.24 nm 0.31 nm 0.15 nm
最大速度: ±0.475 m/s ±2.1 m/s ±2.55 m/s
最大速度下的精度(σ): 1.6 nm 0.5 nm 0.2 nm
循环误差补偿:
兼容的激光器: 7705 7702、7714 和 7724
  注意:规格是针对双通干涉仪的。