干涉仪

ZMI™ 系列 – 位移测量干涉仪

ZYGO 的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向,并且可以在真空中工作。

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线性干涉仪

该装置会测量回射器目标,用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO 提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪,以满足不同的空间限制要求。例如:十字刻线台、龙门系统、转向镜

平面镜干涉仪

该装置会测量平面镜目标,用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO 的平面镜干涉仪具有高稳定性,可减少热误差。例如:晶圆台、堆叠工作台系统

波长补偿器

该装置会测量折射率的变化,用于补偿其他测量轴。ZYGO 的紧凑型波长补偿器提供了高精度的折射率变化反馈,可在环境条件下实现最佳的位移测量性能。

 

配件

通过将光束从激光器传输到干涉仪,并最终传输到测量电子装置,完善测量系统。ZYGO 提供各种标准的转折镜、分光镜、光纤耦合器和光纤电缆,方便您灵活配置测量系统。

ZMI 配件

定制干涉仪设计

ZYGO 专业生产用于 OEM 应用的定制多轴干涉仪。定制设计允许在空间有限的应用中进行合并光束传输。它还减少了对准系统所需的时间,可在生产过程中实现更快的集成。

定制多轴干涉仪