绝对位置传感器

在多达 64 个同步通道上进行高精度、非接触式绝对位置测量

ZPS 传感器ZYGO 的 ZPS™ 系统使用超小型光学传感器测量绝对位置,这些传感器可轻松集成到可变形反射镜和镜头定位等高精度应用中。

光学传感器系统可在 1.2mm 范围内提供多达 64 个同步通道的高精度、非接触式绝对位置测量。测量分辨率为 0.01 nm,测量稳定性 ≤ 1 nm/天。

光学传感器不会产生热量,对电磁干扰不敏感,因此 ZPS 系统是可能受这些因素影响的高精度应用的理想选择。超紧凑的传感器通过光缆连接到紧凑的集中式机柜上。ZYGO 免费提供的 ZPS™ 软件在 ZPS 系统和计算机之间提供了即插即用的连接,允许您能够快速、轻松地启动并运行您的系统。

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应用

ZPS 集成配件ZPS 系统通常被用于闭环反馈系统,它需要来自多个传感器的连续高精度位置数据流来补偿漂移并保持精确的定位和对准。该系统还可以作为研发和工程以及制造环境中的工具,用于测试夹具的对准或量化动态机械性能。

主要特点:

  • 非接触式光学测量
  • 可重复的绝对位置测量(≤ 0.5 nm, 3σ)
  • 采用专有补偿算法的高精度系统
  • 超紧凑的传感器,对电磁干扰不敏感,也不发热
  • 可靠的电信级光纤组件
  • 可扩展,最多可扩展至 64 个通道

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