光学轮廓仪物镜

电动转台上的轮廓仪物镜要想保持光学轮廓仪具有成本效益且不过时,就必须确保它能满足不断变化的计量需求。物镜是 ZYGO 的 CSI 轮廓仪的核心,在视野、横向分辨率和可测量斜率方面提供了灵活性。出于这个原因,ZYGO 致力于开发各种各样的干涉测量物镜,它们从 1X 到 100X 不等,并且种类还会随着时间的推移而不断增加。

这些多样化的物镜提供了从 0.4mm 到 17mm 以上的业内一流的视野范围。  除了视野之外,ZYGO 的物镜是齐焦的,因此它们可以以各种方式组合在一起,提供了最大的应用灵活性。  一些特定应用的配置和配件包括:

  • 长工作距离(LWD)和超长工作距离(SLWD)型号,它们的间隔距离分别为 20mm 和 40mm,适用于凹陷、受阻和其他难以接近的表面。
  • 玻璃补偿(GC)LWD 物镜可用于在透明保护窗下测量样品。
  • 快换单物镜燕尾榫,以及手动和电动编码的物镜转台,可以安全、快速、轻松地在不同的物镜之间切换

追求精密

确保物镜的最佳成像对计量性能至关重要。  作为一家有着深厚光学制造和计量经验的公司,ZYGO 认识到了这一点,对所有的物镜进行精确聚焦,确保在光学聚焦和干涉聚焦之间实现精确的匹配,这也是 ZYGO 与其他制造商的主要区别。

此外,我们还提供一些真正独家的物镜物镜选择,如荣获专利的 Zygo 大视野范围物镜(ZWF)1.4X。  这款独特的物镜结构紧凑,提供了一个大视野范围,易于与塔台上的其他物镜组合,可在一设备上实现多种类型的测量要求。

为了确定适合您应用的最佳物镜组合,请联系我们,预约为您的样品进行演示。 

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