非球面和自由曲面的形貌计量

ZYGO 在仪器研发和配件方面有着丰富的经验，可以对简单的形貌如平面和球面进行高质量的表面测量。  更复杂的表面形状，如非球面和自由曲面，无论是在计算与规格的确切偏差还是在确定镜头曲率半径方面，都对现代计量提出了挑战。具有弯曲、旋转不对称、甚至独特点云特征的表面，都可以用 Zygo 产品进行测量，并准确识别镜头形状与设计之间的差异。虽然典型的应用会使用 PV 或 RMS 结果来确定镜头的形貌，但非接触式的全区域表面测量还可以识别更多的局部误差或由制造过程引起的不对称性。

在选择非球面或自由曲面光学器件的测量工具时，有几个需要考虑的参数。测试表面尺寸、非球面偏差、表面数量和测量时间有助于指导选择哪种工具或测量技术。ZYGO 与客户合作，与客户一起做出关键的测量决策，消除复杂表面的复杂性。