康涅狄格州米德尔菲尔德,2023年4月4日,Zygo公司---全球知名的光学计量系统设计制造商,更新了其计量软件Mx的最新版本。这是一个适用于所有相关Zygo计量设备的全新版本。




Zygo的Mx软件整合了表面形貌和透射波前计量时,数据的采集和分析。其强大的功能和直观的可视化设计,使数据采集和分析变得快速而简单。9.1版提供了几个新关键优势,Zygo 如:

· 非球面综合分析;

· 全新的轮廓分析;

· 以及支持所有相关Zygo计量设备,自定义流程的自动测量和拼接功能。

Zygo总部位于康涅狄格州的米德尔菲尔德小镇,其设计的Mx软件,几十年来一直为综合计量软件设立了“黄金标准”,即在一个软件平台上,定制化采集和分析数据,通过优化仪器性能、自动化测量,和分析数据,确保了您对每一次测量的信心。

非球面综合分析

Zygo用户体验产品经理Martin Fay说:"Mx 9.1软件通过Asphere+分析功能扩展了Zygo相关合作软件对非球面分析的能力,为基于任何设备获得的非球面数据,提供了一个通用分析工具。它可以自各类非球面面形数据中逆推其设计方程,也可以测量器件实际形貌和设计之间的三维形貌偏差,并将偏差数据导出,用于制造过程的反馈。"

全新的轮廓分析模块

Mx 9.1软件的新功能还包括新的高级轮廓分析模块,基于Digital Surf的MountainsMap®软件功能。Zygo光学轮廓仪产品经理Eric Felkel补充说:"这项新的软件功能,为我们的客户提供了更多的能力,用于检测他们最具挑战性的表面上的关键尺寸。 通过将MountainsMap的这一行业领先功能直接纳入Zygo的Mx软件界面,高级轮廓分析模块可以简化客户的工作流程,新的可测量尺寸结果,包括半径、直径、距离和角度。"

自定义流程的自动测量和拼接功能

Mx 9.1软件还为Zygo的激光干涉仪引入了自动测量和拼接功能。激光干涉仪产品经理Erin McDonnell说:"在Mx软件中增加激光干涉仪自动测量和拼接功能,是一个重大进步,使我们的客户能够以高横向分辨率,对大尺寸器件面形进行测量,还可以简化样品平台以提高产出。

Martin Fay补充说:"自动测量模块已经为所有Zygo用户进行了简化,支持复杂几何形状的运动轨迹;以及在自动测量运行期间,分析已经收集的数据。"

Mx 9.1软件目前已在所有新的计量系统上安装,并支持在已有的Zygo计量设备上升级。