康涅狄格州 Middlefield - Zygo 公司宣布推出 Verifire™ XL 高精度斐索干涉仪，它设计用于对直径达 12 英寸（300 mm）的平面进行简单而精确的表征。Verifire XL 设计用于测量大型平面，如镜面、半导体晶片或光学窗口，是一个集工作台、配件和生产型技术于一体的交钥匙解决方案。
激光干涉仪产品经理 Tyler Steele 表示：“Verifire XL 系统向下看的设计及其重型零件台，支持快速、方便地测量各种待测零件”。“该仪器有一个集成的参考光学器件，并采用 ZYGO 专有的全区域校准，能够在整个 300 mm 孔径上实现优于 30nm PV 的计量。”
Verifire XL 系统配有集成的 TMC 隔振平台和 ZYGO 的 QPSI™ 抗振采集专利技术。这些特点使它能够在振动较常见的生产环境中进行精确、可靠的计量，而这是其他采集技术无法办到的。
Verifire XL 干涉仪的表面形貌测量和分析由 ZYGO 的 Mx™ 计量软件处理，该软件是业内最强大的数据分析和可视化平台。除了 QPSI 采集外，Mx 软件还包括 ZYGO 新推出的 SmartAveraging® 功能，可在最短的时间内自动提供最佳的测量结果。
Verifire XL 干涉仪是一个以应用为中心的型号，属于 ZYGO 业界领先的 Verifire 相移激光斐索干涉仪系列。该系统由于其坚固耐用的设计、长寿命的高功率激光源和高速、高分辨率的摄像机，可在最苛刻的应用中提供无与伦比的数据和仪器可靠性。Verifire XL 干涉仪现已在全球范围内销售。
Zygo 公司是 AMETEK 超精密技术部的一个部门，是一家领先的光学计量解决方案、高精度光学器件和光学组件供应商，其产品被广泛应用于科学、工业和医疗领域。
AMETEK, Inc. 是一家全球领先的电子仪器和机电设备制造商，2014 年年销售额达 40 亿美元。欲了解更多信息，请联系 ZYGO, 21 Laurel Brook Rd., Middlefield, CT 06455-1291 USA。电话：+1-860-347-8506。电子邮箱：inquire@zygo.com