服务

非球面和自由曲面

• 尺寸达 500 mm
• 材料：ZERODUR®、ULE®、玻璃、陶瓷、Si、CaF2
• 精度达 λ/5000 RMS @ 633 nm
• 离轴镜无需制造母镜
• 技术：
  • 计算机控制光学表面处理
  • 离子束加工
  • 精密光学和 CMM 计量

计算机控制光学表面处理

• 非球面和精密球面、平面、圆柱面
• 可实现 1nm RMS 表面面形和 0.2nm RMS 表面粗糙度（玻璃）
• 可配置，适用于玻璃、CaF2、ZERODUR®、ULE®、SiC、Si、其他材料和各种零件几何形状
• 可扩展，适用于 1.5 米以上的光学器件
• 采用专有的计算机控制光学表面处理（CCOS）技术

超精加工/超抛

在需要减少光通过光学器件表面时所发生散射的应用中，通常需要对表面进行超级精加工。ZYGO 的超精加工（也称为超抛）工艺可以在宽功率谱密度（PSD）带内将熔融石英、蓝宝石、YAG 等材料加工成极其光滑的表面。我们独特的工艺能够在 10 nm 到 1 mm 的空间周期内生产出表面粗糙度为 < 1埃（< 0.1 nm）的表面。 < 1 Angstrom (< 0.1 nm), over spatial periods ranging from 10 nm to 1 mm. >

离子束加工（IBF）

这项专有技术采用真空中的氩离子流对非球面、球面和平面光学表面进行局部“抛光”。光学计量数据与 CCOS 软件相结合，对表面误差进行局部校正。

IBF 具有显著的优势：

• 实现表面面形小于 0.25 nm RMS（λ/2500 @ 633 nm）
• 对边缘边界条件不敏感
• 可在易碎和/或容易变形的表面上作业，如超轻基板（无透印）
• 可用于传统抛光工具无法接近的表面几何形状
• 适用于多种材料，包括 ZERODUR®、ULE®、玻璃、陶瓷、Si、CaF2 等
• 不会划伤表面

精密玻璃加工

• 玻璃和陶瓷材料的 5 轴超声波CNC数控加工；比传统数控加工速度快 3-5 倍
• 3 轴和 4 轴常规数控玻璃加工
• 机加工后进行氢氟酸蚀刻
• 典型的公差为 5 µm；酸蚀刻后关键特征的公差为 2 µm
• 尺寸达 750 mm