Verifire™ XL
大口径立式干涉仪
大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站，可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。
这款完全集成的系统易于使用，其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位，而无需定制夹具。
占地面积小，内置隔振系统，并配有控制器显示器支架，只占用很小的车间地板空间。
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独立的大口径工作站，用于测量直径达 12 英寸（300 mm）的平面光学表面面形，如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。
主要特点
- 12 英寸（300 mm）口径，下视式立式设计，便于零件处理和对准
- 一站式的独立系统，包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对准台和 1/15 波 PVr 透射平面镜（TF）
- 紧凑的尺寸，最大限度地减少了对宝贵地面空间的占用
- 集成的隔振和 QPSI™ 技术允许在生产环境中进行可靠的测量
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Measurement of Aspheric Surfaces
Determining Asphere Measurability
Grazing Incidence Testing
Interferogram Scale Factor
Silver Overcoat Spray
Testing Cylindrical Surfaces with Computer Generated Holograms
Fringe Analysis versus Phase Measuring Interferometry
Finite Conjugate Lens Testing
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Solutions for environmentally robust interferometric optical testing
101 Frame Algorithm For Phase Shifting Interferometry
A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
A review of selected topics in interferometric optical metrology
Absolute distance measurements using FTPSI with a widely tunable IR laser
Absolute Interferometric Testing of Spherical Surfaces
Absolute Measurement of Rotationally Symmetrical Aspheric Surfaces
Adjustable coherence depth in a geometrically-desensitized interferometer
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A next-generation optical surface form inspection instrument for high-volume production applications
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