非球面和自由曲面的粗糙度计量

表面纹理的测量对确保成像系统的最佳性能至关重要。标准的非球面加工技术，包括金刚石车削和子孔径抛光，会在最终产品上留下切削过程的痕迹。镜头上的表面纹理问题会导致图像不均匀、散射光，甚至最终图像出现衍射。Zygo 三维系统可以利用全区域、高分辨率的光学计量技术快速检测表面纹理问题。

一个典型的表面纹理应用包括分析 Sa 和 Sq 等结果，并确定镜头在整个光学区域的粗糙度。表面纹理分析还可以发现表面上由于损伤或污染而产生的局部缺陷。更高级的表面纹理应用可能包括分析镜头上车削痕迹的均匀性或周期性。在所有情况下，表面纹理都有助于识别成型、抛光或涂层过程中的问题区域。