GPI™ FlashPhase™ 瞬态测量 分析软件

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标准的相移干涉测量系统会受到振动和空气扰动的影响，特别是在长程测量或大件样品测量中，空气的扰动会对测量带来影响。典型的解决方案是在稳定的环境中进行测量，例如：等到周末或者晚上周围环境安定后再进行测量；或者将实验装置悬浮起来将环境影响减小到最小状态。

更好的方法是瞬态相位数据采集，类似于将不稳定环境“冻结”。最常用的方法是在减小计算机读入数据时间基础上对硬件进行改进，如采用多个CCD或者利用光学方案将干涉图分成三个或更多相移图像。但结果会带来光路系统的复杂且造价昂贵，且会引起光路非共轴产生的误差。

FlashPhase™ vs. Standard Phase Measurement FlashPhase™ 是 在ZYGO MetroPro®软件基础上推出的一套新型的数据采集方法，为ZYGO激光干涉仪能在非理想环境下（如大口径、长腔、加工现场）提供相位测量。FlashPhase™能从单一镜头光度来决定相位 ，能够代替使用传统相移技术，此方法不仅缩短数据采集时间，而且有效消除环境噪音，能够让GPI™系列安装在生产线上使用。

FlashPhase™是一项在计算机上进行改进的革命性解决方法，其原理是在ZYGO标准的Metropro软件上加上一个高速数据采集功能。通过简单的斐索结构加上操作简单的增强软件，就可以达到价格昂贵、硬件复杂的其他解决方案同样的性能，且造价大幅降低。

FlashPhase™不需要对激光干涉仪改造，不影响原有的应用和测量精度。

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